超純水系統是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。一般超純水系統是經由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產生的超純水。下面我們就來了解一下超純水系統工藝流程及特點。

超純水系統工藝流程

1: 預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點

2: 預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點

3: 預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點

4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點

水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)

超純水系統反滲透(膜分離)法超純水制造技術

反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。

超純水系統特點：

①不需加熱、沒有相變；

②能耗少;過程連續穩定；

③設備體積小、操作簡單，適應性強；

④對環境不產生污染。

反滲透超純水系統根據不同的源水水質采用不同的工藝。一般自來水經一級反滲透系統處理后，產水電導率<10-20μS/cm，經二級反滲透系統后產水電導率<5μS/cm甚至更低，在反滲透系統后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率高達18兆歐姆.厘米)。 反滲透膜老化或受污染后，產水質量會下降。